Установка SMI3050 FIB производства компании SII
NanoTechnology Inc. для травления с помощью сфокусированного ионного
пучка с разрешением до 4 нм.
Сканирующий электронный микроскоп EsB 1540
CrossBeam (компания Сarl Zeiss) с
разрешением 1 нм.
Оптический микроскоп Аxio-Imager (компания Сarl
Zeiss) c видеокамерой и интерферометрическим контролем толщины
структур.
