4. Базовая кафедра «Технология материалов» Саратовского государственного университета им. Н.Г. Чернышевского

Место нахождения: СФИРЭ им. В.А. Котельникова РАН

Данные по учреждению РАН:

Ф.И.О руководителя, ученая степень Филимонов Юрий Александрович, д.ф-м.н., профессор

Кол-во привлеченных научных сотрудников - 5

2016 - 6, 2017 - 6, 2012 – 6, 2018 - 5

Кол-во членов РАН (ак., чл.-корр. РАН) - нет

Кол-во студентов, проходящих обучение - 8

2016 - 11, 2017 – 11, 2018 – 8

Данные по Вузу-партнеру:

Вуз СГУ

Факультет Электронной техники и приборостроения

Кафедра Электронные приборы и устройства

Кол-во привлеченных преподавателей –5

Направление подготовки 210600 «Нанотехнология», 210601 «Нанотехнология в электронике»,

010803 «Микроэлектроника и полупроводниковые приборы»

Квалификация специалиста - физик

Срок обучения 3-5 курс

Правовой статус договор о сотрудничестве СГУ и ИРЭ РАН от 01 октября 2010 г

Учебные программы по спецкурсам

1. Учебный практикум по курсу «Технология получения магнитных микро- и наноструктур»

Факультет нано- и биомедицинских технологий

Курс 3 Количество студентов 18

Специальность 210601 «Нанотехнология в электронике»

Курс 4 Количество студентов 4

Специальность 210601 «Нанотехнология в электронике»

Содержание практикума:

а) получение микро- и наноструктур методами оптической и импринт литографии и сканирующей зондовой литографии

б) вакуумные методы осаждения пленок материалов

в) методы зондовой диагностики поверхности твердого тела (атомно силовая, магнитно-силовая и туннельная микроскопия);

г) методы электронной микроскопии

д) методы диагностики параметров магнитных микро- и наноструктур: измерение петель гистерезиса методома вибромагнито-

метрии и магнитооптического эффекта Керра, измерение магнитных параметров методом ферромагнитного резонанса, измерение

анизотропного магнитосопротивления.

Учебные программы по спецкурсам, в которых указать:

Программа «Магнитные материалы и структуры для электроники и наноэлектроники», Направление подготовки 150100 Материаловедение и технологии материалов Магистерская программа «Современные материалы и нанотехнологии» Квалификация (степень) выпускника Магистр

- количество лабораторно-практических занятий: 60 часов

Ф.И.О. и ученая степень преподавателей:

Филимонов Ю.А., д.ф.-м.н., Хивинцев Ю.В. к.ф.-м.н, Высоцкий С.Л. к.ф.-м.н., Джумалиев А.С. к.ф.-м.н., Никулин Ю.В. (б/с)

1. Учебная технологическая практика. Факультет нано- и биомедицинских технологий

Курс 4. Группа 441. Количество студентов 20.

Специальность 210601 «Нанотехнология в электронике».

Содержание практики:

а) технологические процессы получения композитных наноматериалов и сверхрешеток с квантовыми точками на основе различных аллотропных фаз углерода, кремния и его соединений в плазме микроволнового газового разряда низкого давления;

б) технологические методики получения атомно-чистых поверхностей пластин кремния различных кристаллографических ориентаций с использованием низкоэнергетичной химически активной плазмы СВЧ газового разряда;

в) методы зондовой диагностики поверхности твердого тела (атомно силовая, туннельная и лазерно –эллипсометрическая микроскопия);

г) освоение экспериментальных методик и исследования оптических свойств и механизмов переноса носителей в высокоомных полупроводниковых пленочных структурах содержащих и не содержащих квантовые точки (ВАХ, энергии активации и др.);

д) устройства, принципы построения и технологические приемы создания солнечных элементов на основе а-Si: H, а также оптоэлектронных устройств на основе явления электролюминисцеции и одноэлектронного транспорта в нанокомпозитных пленочных структурах на основе гидрогенезированного карбида кремния с включениями кремниевых нанокластеров.

Преподаватель - д.т.н. Яфаров Р.К.

2. Учебная ознакомительная практика. Факультет нано- и биомедицинских технологий

Курс 2. Количество студентов 17.

Специальность 210100 «Электроника и наноэлектроника».

Содержание практики:

а) ознакомление с основными направлениями работы и технологиями структурных подразделений СФ ИРЭ РАН и Образовательно-Научного Института наноструктур и биосистем СГУ им. Н.Г. Чернышевского.

б) ознакомление с современными достижениями в области создания современной элементной базы микро- и наноэлектроники, новых нанотехнологий и наноматериалов, а также методов исследования физических свойств нанокомпозитных материалов и наносистем.

в) ознакомление со структурой и содержанием баз данных, созданных в СФ ИРЭ РАН по направлению «Наноэлектроника» в рамках создания национальной телекоммуникационной системы сбора, хранения, обработки и управления потоками научных и технологических данных для наноиндустрии Российской Федерации,

г) ознакомление с технологическими методиками и оборудованием для реализации и контроля нанотехнологических процессов в наноэлектронике, имеющихся в СФ ИРЭ РАН, тематикой совместных исследовательских работ СФ ИРЭ РАН и Образовательного-Научного Института наноструктур и биосистем Саратовского госуниверситета.

Количество лабораторно-практических занятий -90

Преподаватель - д.т.н. Яфаров Р.К.

Сотрудники филиала кафедры участвуют в выполнении проекта «Метаматериалы», руководитель чл.-корр РАН Никитов С.А., поддерживаемый в рамках гранта Правительства России для государственной поддержки научных исследований, проводимых под руководством ведущих ученых в российских вузах

Сотрудники лаборатории ведут лекционные занятия по курсам «Твердотельные электронные датчики внешних воздействий» и «Материалы датчиков внешних воздействий» и практические занятия курсам «Материалы датчиков внешних воздействий», «Твердотельные электронные датчики внешних воздействий» и «Действие ионизирующих излучений на материалы» со студентами кафедры материаловедения, технологии и управления качеством, кафедры физики полупроводников СГУ.