Объекты для подразделения "235 темгр. сверхпроводниковых субмиллиметровых микроболометров на разогреве электронов" с годом 2016

Статья

Ilin A.S., Cohn I.A., Vystavkin A.N., Kovalenko A.G. Thin film ruthenium microstructures for transition edge sensors. Proc. SPIE 10224, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2016 , 2016 , 10224. 102240S. ISSN 0277-786X

Кон И.А., Ильин А.С., Коваленко А.Г. Миниатюрный параллельный микроманипулятор. Журнал радиоэлектроники , 2016 (11). ISSN 1684-1719

Доклад на конференции или семинаре

Ilin A.S., Cohn I.A., Vystavkin A. N., Kovalenko A.G. Thin-film ruthenium microstructures for transition edge sensors. In: Международная конференция "Микро- и наноэлектроника – 2016" (ICMNE-2016)