Объекты, где автором является "Zaharov A. A."

Доклад на конференции или семинаре

Pavlova A. Yu., Khivintsev Yu. V., Zaharov A. A., Filimonov Yu. A. Investigation of influence of different parameters on results of probe oxidation. In: 2014 International Conference on Actual Problems of Electron Devices Engineering (APEDE), September 25-26 2014, Saratov, Russia , С. 457-460.