Каталог публикаций ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН

Объекты, где автором является "Yurov V. Yu"

На уровень вверх

Группировка по: Тип объекта | Нет группировки

Перейти к: Статья

Количество объектов: 1.

Статья

Yurov V. Yu, Bolshakov A.P., Altakhov A.S., Fedorova I.A., Zavedeev E.V., Popovich A.F., Ralchenko V.G. Hydrogen microwave plasma etching of silicon dioxide at high temperatures with in situ low-coherence interferometry control. Vacuum , 2022 , 199. р. 110939. ISSN 0042207X

Этот список был создан Thu May 2 02:31:44 2024 GMT-3.

Репозиторий "Каталог публикаций ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН" создан на платформе EPrints 3 которая разработана Школой электроники и компьютерных наук в Университете Саутгемптона. Более подробная информация и разработчики программного обеспечения.