Объекты, где автором является "Shustin E. G."

На уровень вверх
Экспорт в [feed] Atom [feed] RSS 1.0 [feed] RSS 2.0
Группировка по: Тип объекта | Нет группировки
Количество объектов: 13.

Статья

Shustin E. G., Kolodko D. V., Luzanov V. A., Mirgorodskaya E. N., Sorokin I. A., Tarakanov V. P., Temiryazeva M. P., Frolov E. S. Etching of “Microwire-on-Insulator”-Type Structures. Plasma Physics Reports , 2022 , 48 (6). С. 638-644. ISSN 1063-780X

Sorokin I. A., Kolodko D. V., Luzanov V. A., Shustin E. G. Growth of Thin Graphite Films on a Dielectric Substrate using Heteroepitaxial Synthesis. Technical Physics Letters , 2020 , 46 (5). С. 497-500. ISSN 1063-7850

Kolodko D. V., Sorokin I. A., Tarakanov V. P., Shustin E. G. Model of a Plasma Layer Formed by an Electron Beam. Plasma Physics Reports , 2020 , 46 (7). С. 703-708. ISSN 1063-780X

Shustin E. G. Beam plasma discharge in technologies of materials for nanoelectronics. Journal of Physics: Conference Series , 2019 , 1393 (1).

Tarakanov V. P., Shustin E. G., Ronald K. Simulation of sputtering from an isolated conductor surrounded by a ielectric during plasma etching. Vacuum , 2019 , 165 (2). С. 265-269. ISSN 0042207X

Sorokin I. A., Kolodko D. V., Shustin E. G. Synthesis of Nano-Crystalline Graphite Films in Hollow Cathode Discharge. Technical Physics , 2018 , 63 (8). С. 1157-1159. ISSN 1063-7842

Sorokin I.A., Kolodko D.V., Shustin E. G. Synthesis of nanocrystalline graphite films in a hollow cathode discharge. TECHNICAL PHYSICS , 2018 , 88 (8). С. 1191-1194.

Shustin E. G., Isaev N. V., Luzanov V. A., Temiryazeva M. P. Formation of thin graphite films upon carbon diffusion through nickel. Technical Physics , 2017 , 62 (7). С. 1069-1072. ISSN 1063-7842

Shustin E. G. Plasma technologies for material processing in nanoelectronics: Problems and solutions. Journal of Communications Technology and Electronics , 2017 , 62 (5). С. 454-465. ISSN 1064-2269

Доклад на конференции или семинаре

Sorokin I.A., Kolodko D.V., Shustin E. G. Plasma-processing reactor for the production and treatment of nanoscale structures for nanoelectronics. In: Международная конф. Изаимодействие плазмы с поверхностью, 25-27 сентября 2019, Москва , МИФИ

Shustin E. G. Electron beam excited plasma and beam plasma discharge in plasma processing technologies. In: 14 Международная конференция "газороазрядная плазмы и их применения (GDP 2019), 16-19 сетября 2019, Томск , Institute of high current electronics of RAS , р. 9.

Sorokin I.A., Kolodko D.V., Shustin E. G., Luzanov V.A., Temiryazeva M. P., Mirgorodskaya E. N. Synthesis of nanodimensional carbon films in hollow cathode discharge. In: 14 INtern. conf. @Gas discharge and their applications, г. Томск , р. 62.

Sorokin I.A., Kolodko D.V., Shustin E. G. Plasma processing reactor for production and treatment of nanoscale structures for nanoelectronics. In: 14 Intern. conf.Gas discharge plasmas and their applications, 15-21 сентября 2019 г., г. Томск , Иститут сильноточной электроники РАН , р. 40.

Этот список был создан Sun Apr 28 16:26:21 2024 GMT-3.