Объекты, где автором является "Fedorova I.A."

Статья

Yurov V. Yu, Bolshakov A.P., Altakhov A.S., Fedorova I.A., Zavedeev E.V., Popovich A.F., Ralchenko V.G. Hydrogen microwave plasma etching of silicon dioxide at high temperatures with in situ low-coherence interferometry control. Vacuum , 2022 , 199. р. 110939. ISSN 0042207X