![]() | На уровень вверх |
Minin Iu.B., Aleksandrov D.V., Dubrov M.N., Fedorov M.V. Investigation of high-precision laser instrument for fabrication of integrated circuits and monitoring of seismic and gravitational processes. Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем (МЭС) , 2021 (4). С. 182-186. ISSN 2078-7707