![]() | На уровень вверх |
Грачев Владимир/В.И., Марголин /В.И., Тупик /В.Л. Резонансные явления при магнетронном напылении металлических нанопленок в локальном поле на подложке. Радиоэлектроника. Наносистемы. Информационные технологии. , 2014 , 6 (1). С. 18-29. ISSN 2218-3000