На уровень вверх |
Институт радиотехники и электроники им.В.А.Котельникова РАН Способ изготовления устройств со свободно висящими микромостиками. Заявка на изобретение, подана в Роспатент июнь 2016, 2016.
Институт радиотехники и электроники им.В.А.Котельникова РАН Способ изготовления устройств с тонкопленочными туннельными переходами. Заявка на изобретение 2015121813, 2015.