 | На уровень вверх |
Темирязева М.П., Планкина С.М., Антонов И.Н., Нежданов А.В., Крюков Р.Н., Здоровейщев А.В., Дроздов М.Н., Демина П.Б., Дорохин М.В., Данилов Ю.А., Вихрова О.В., Звонков Б.Н. Формирование углеродных слоев методом термического разложения четыреххлористого углерода в реакторе МОС-гидридной эпитаксии. Физика и техника полупроводников , 2020 , 54 (8). р. 801. ISSN 0015-3222
