 | На уровень вверх |
Кошелец В.П., Shi Sheng-Cai, Liu Dong, Ломов А.А., Филиппенко Л.В., Чекушкин А.М. Оптимизация режимов изготовления пленок Nb, NbN, NbTiN и высококачественных туннельных переходов на их основе для приемных структур терагерцевого диапазона. Журнал технической физики , 2021 , 91 (10). р. 1577. ISSN 0044-4642
