На уровень вверх |
Борисов В.И., Кувшинова Н.А., Курочка С.П., Сизов В.Е., Степушкин М.В., Темирязев А.Г. Полупроводниковые структуры с одномерным квантовым каналом и планарными боковыми затворами, созданные методом импульсной силовой нанолитографии. Физика и техника полупроводников , 2017 , 51 (11). С. 1534-1537. ISSN 0015-3222
Борисов В.И., Кувшинова Н.А., Курочка С.П., Сизов В.Е., Степушкин М.В., Темирязев А.Г. Создание полупроводниковых многозатворных структур с квантовым каналом методом импульсной силовой СЗМ-нанолитографии. In: XXI международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», 13 – 16 марта 2017 г., Нижний Новгород , С. 273-274.