![]()  | На уровень вверх | 
Гончаренко Борис Г., Жуков Андрей А., Зорин Сергей М., Козлов А.С., Корпухин А.С., . Салов Владимир Д. Моделирование конструкции и способ изготовления 3D MEMS – структур тепловых приёмников инфракрасного излучения. .НАНО И МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА , 2015 (8).