 | На уровень вверх |
Ляхов ИГОРЬ ГЕННАДИЕВИЧ, Кузьмин АРТЕМ АЛЕКСАНДРОВИЧ, Ильин АЛЕКСЕЙ СЕРГЕЕВИЧ, Ермакова МАРИНА АЛЕКСАНДРОВНА, Булах КОНСТАНТИН ВИКТОРОВИЧ Исследование режимов магнетронного напыления тонких пленок титана для криогенных детекторов. ТРУДЫ , 2013 , 5 (1-17). С. 60-67.
