Объекты, где автором является "Зубков Н. П."

Статья

Зубков Н. П., Шилов И. П., И. П., Кочмарев Л.Ю. Применение метода PCVD для осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором, на кремниевые подложки в резонансном СВЧ-разряде пониженного давления на волне Н10. ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА. СЕРИЯ 1: СВЧ-ТЕХНИКА , 2018 . ISSN 1990-9012

Доклад на конференции или семинаре

Зубков Н. П., Кочмарев Л. Ю., Шилов И. П. Формирование оптических структур, легированных фтором, на кремниевых пластинах в локальном СВЧ-разряде на волне Н при пониженном давлении. In: Научно-техническая конференции АО «НПП Исток им. Шокина» СВЧ-электроника-2018, 75 лет развития». , С. 88-89.