![]() | На уровень вверх |
Шилов И.П., Кочмарев Л.Ю., Зубков Н.П., Лапшин Д.В. PCVD-метод по-лучения высокоапертурных заготовок кварцевых световодов с повышенным со-держанием фтора и утолщенной кварцевой оболочкой. ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА , 2019 (3). С. 17-23. ISSN 1996-0948
Зубков Н.П., Кочмарев Л.Ю., Шилов И.П. Применение метода PCVD для осаждения слоев кварцевого стекла, легированного фтором, на кремниевые подложки в резонансном СВЧ-разряде пониженного давления на волне Н10. Журнал электронная техника, сер. 1, СВЧ-техника , 2018 , 3 (538). С. 64-74.