 | На уровень вверх |
Шилов И.П., Кочмарев Л.Ю., Блинов Л.М., Герасименко А.П., Гуляев Ю.В., Долгов А.П. МНОГОСЛОЙНОЕ ОСАЖДЕНИЕ КВАРЦЕВОГО И ФТОРСИЛИКАТНОГО СТЕКЛА НА КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ В ПЛАЗМЕ РЕЗОНАНСНОГО ЛОКАЛЬНОГО СВЧ РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ. ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (электронный журнал) , 2018 (6). ISSN 1684-1719
Блинов Л.М., Герасименко А.П., Гуляев Ю.В., Долгов А.П., Кочмарев Л.Ю., Черепенин В.А., Шилов И.П. Многослойное осаждение кварцевого и фторсиликатного стекла на кремниевые пластины в плазме резонансного локального СВЧ разряда пониженного давления. ЖУРНАЛ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ (электронный журнал) , 2018 . ISSN 1684-1719
Блинов Л.М., Герасименко А.П., Гуляев Ю.В., Долгов А.П., Кочмарев Л.Ю., Шилов И.П. Высокоапертурные оптические структуры волноводов на основе кварцевого стекла, легированного фтором, формируемые в неизотермической плазме резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления. Фотон-экспресс , 2017 , 6 (142). С. 270-271. ISSN 2308-6920
Блинов Л.М., Герасименко А.П., Долгов А.П., Кочмарев Л.Ю., Черепенин В.А., Шилов И.П. Исследование резонансных характеристик СВЧ плазмотрона на волне ТЕ11 (Н11) для плазмохимического осаждения на кварцевые стержни (трубы, заготовки) оптических структур специальных волоконных световодов на основе кварцевого стекла, легированного фтором и азотом, в неизотермической плазме резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления. Фотон-экспресс , 2017 , 6 (142). С. 278-279. ISSN 2308-6920
Блинов Л.М., Герасименко А.П., Долгов А.П., Кочмарев Л.Ю., Черепенин В.А., Шилов И П. Исследование резонансных характеристик СВЧ плазмотрона на волне TE11 (H11) для плазмохимического осаждения на кварцевые стержни (трубы, заготовки) оптических структур специальных волоконных световодов на основе кварцевого стекла, легированного фтором и азотом, в неизотермической плазме резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления. Журнал радиоэлектроники [электронный журнал] , 2017 (1).
