ОСАЖДЕНИЕ ПЛАНАРНЫХ ВОЛНОВЕДУЩИХ СТРУКТУР СО ФТОРСИЛИКАТНОЙ ОБОЛОЧКОЙ НА И КВАРЦЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ В ЛОКАЛЬНОМ СВЧ-РАЗРЯДЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Шилов И. П., Кочмарев Л. Ю. ОСАЖДЕНИЕ ПЛАНАРНЫХ ВОЛНОВЕДУЩИХ СТРУКТУР СО ФТОРСИЛИКАТНОЙ ОБОЛОЧКОЙ НА И КВАРЦЕВЫЕ ПОДЛОЖКИ В ЛОКАЛЬНОМ СВЧ-РАЗРЯДЕ ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ. Журнал радиоэлектроники , 2021 (4). ISSN 1684-1719

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Представлен эффективный метод газофазного многослойного гетерогенного осаждения кварцевого и фторсиликатного стекла в неизотермической плазме резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления на подложки из кварцевого стекла и кремниевые пластины для формирования оптических структур волноводов и других волноводных элементов на их основе. Показано, что неизотермическая плазма резонансного локального СВЧ-разряда пониженного давления является эффективным инструментом формирования на кремниевых и кварцевых подложках пленок как чистой двуокиси кремния, так и легированной фтором. Не наблюдается наличия трещин в пленках, легированных фтором даже при значительных их толщинах (20–60 мкм). Достигнуты высокие скорости и эффективности осаждения кварцевого стекла, легированного фтором (до 7 вес.% легирования стекла фтором при скорости осаждения пленки свыше 3 мкм/мин). Созданы планарные и полосковые многомодовые и одномодовые оптические волноводы, которые являются базовыми структурами различных волоконно-оптических компонентов локальных систем передачи информации.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	276 лаб. элементов систем лазерной связи
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/9951

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект