Afanasiev M.S., Belorusov D. A., Kiselev D.A., Chucheva G.V. Influence of the upper electrode material on the electrophysical properties of MDM structures based on ferroelectric films. Physics of the Solid State , 2023 . ISSN 1063-7834
Это последняя версия данного объекта.
|
Текст
56117.pdf Загрузить (487kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Ferroelectric films of the composition Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST) were synthesized on platinized silicon substrates by RF sputtering. Top electrodes made of nickel, aluminum, copper and chromium were formed on the grown films by electron beam sputtering. The results of studies of the electrophysical properties of the obtained metal-dielectric-metal (MDM) heterostructures (Me-BST-Pt-Si) are presented. Keywords: ferroelectric BST films, metal-dielectric-metal (MDM) structures, microstructure, electrophysical properties.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Афанасьев М.С., Белорусов Д.А., Киселев Д.А., Чучева Г.В. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел 250 лаб. сегнетоэлектрических материалов и устройств |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9499 |
Доступные версии этого объекта
- Influence of the upper electrode material on the electrophysical properties of MDM structures based on ferroelectric films. (deposited 30 Окт 2023 09:39) [В настоящее время Отображен]
 |
Изменить объект |
