Planar hollow cathode sputtering with asymmetrical voltage supply

Sorokin I.A., Kolodko D.V. Planar hollow cathode sputtering with asymmetrical voltage supply. Vacuum , 2023 , 207. р. 111570. ISSN 0042207X

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2022.111570
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Сорокин, Колодко
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/8854
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект