Особенности осаждения пленок оксида индия–олова методом магнетронного распыления

Лузанов В. А. Особенности осаждения пленок оксида индия–олова методом магнетронного распыления. Радиотехника и электроника , 2020 , 65 (3). С. 292-293. ISSN 0033-8494

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.31857/S0033849420030110
Тип объекта: Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/8646
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект
Репозиторий "Каталог публикаций ИРЭ им. В.А.Котельникова РАН" создан на платформе EPrints 3 которая разработана Школой электроники и компьютерных наук в Университете Саутгемптона. Более подробная информация и разработчики программного обеспечения.