Features of Indium Tin Oxide Film Deposition by Magnetron Sputtering

Luzanov V. A. Features of Indium Tin Oxide Film Deposition by Magnetron Sputtering. Journal of Communications Technology and Electronics , 2020 , 65 (3). С. 290-291. ISSN 1064-2269

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1134/S1064226920030110
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Лузанов В.А.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/8592
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект