Расчет локальной удельной проводимости ультратонких металлических пленок по многочастотным измерениям оптических коэффициентов

Глазунов П.С., Вдовин В.А., Слепков А.И., Пятайкин И.И. Расчет локальной удельной проводимости ультратонких металлических пленок по многочастотным измерениям оптических коэффициентов. In: XXXII Всероссийская школа-семинар «Волновые явления: физика и применения» имени А.П. Сухорукова («Волны-2021»), 6-11 июня 2021 г., Москва, Россия , Физический факультет МГУ им. М.В. Ломоносова , С. 20-22.

Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)

Аннотация

Мы предлагаем теоретическую методику расчета локальной удельной проводимости нанометровых металлических пленок по спектру их оптических коэффициентов. Данная методика позволит провести верификацию существующих теоретических моделей проводимости наноразмерных структур.

Тип объекта:	Доклад на конференции или семинаре (Доклад)
Дополнительная информация:	ISBN 978-5-6045125-1-7 Ультратонкие металлические плёнки, толщина которых много меньше глубины скин слоя и длины свободного пробега в объёмных металлах, обладают рядом уникальных свойств, обусловленных классическим размерным эффектом, приводящим к неоднородности проводимости плёнки по толщине. В настоящем докладе предлагается метод расчёта профиля проводимости по толщине плёнки исходя из коэффициента отражения ею СВЧ электромагнитных волн при нормальном их падении на плёнку. Методика основана на разработанной нами ранее теории приближенных граничных условий, которая в первом приближении описывает тонкую плёнку как сосредоточенный элемент - импедансную поверхность, характеризующуюся лишь одним параметром - усреднённым по толщине плёнки значением проводимости. Учет последующих приближений в граничных условиях приводит к тому, что в толщинных зависимостях проводимости проявляется влияние линейных и квадратичных по толщине слагаемых. При учете данных слагаемых в приближенном граничном условии появляются поправки линейно и квадратично зависящие от частоты электромагнитного излучения. Показано, что проведение измерений СВЧ коэффициентов отражения тонкой плёнки на различных микроволновых частотах позволяет найти величину данных поправок и определить зависимость проводимости от толщины вплоть до квадратичных слагаемых, что позволяет провести верификацию теоретической модели. ISBN 978-5-6045125-1-7
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	Глазунов П.С., Вдовин В.А., Слепков А.И., Пятайкин И.И.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	171 лаб. полупроводниковых приборов 201 лаб. математических методов радиофизики
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/8053

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект