Афанасьев М.С., Белорусов Д.А., Киселев Д.А., Сивов А.А., Чучева Г.В. Зависимость электрофизических характеристик структур металл–сегнетоэлектрик–полупроводник от материала верхнего электрода. Физика и техника полупроводников , 2020 , 54 (11). С. 1219-1223. ISSN 0015-3222
|
Текст
50091.pdf Загрузить (542kB) | Предварительный просмотр |
Официальный URL: http://www.ioffe.ru/journals/ftp
Аннотация
Пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3 (BST 80/20) синтезированы на кремниевой подложке методом высокочастотного распыления поликристаллической мишени. Представлены результаты исследований состава пленок,электрофизических свойств конденсаторных структур на их основе и зависимости этих свойств от материалаверхнего электрода (Al, Cu, Ni, Cr).
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/7859 |
 |
Изменить объект |
