Element analysis of thin films and liquid dry residue by X-ray and ion beam methods.

Egorov V.K., Egorov E.V., Afanas’ev M.S. Element analysis of thin films and liquid dry residue by X-ray and ion beam methods. In: 14th International Conference on Films and Coatings 14–16 May 2019, Saint Petersburg, Russian Federation, 14–16 May 2019, Saint Petersburg, , Published under licence by IOP Publishing Ltd , С. 1-4.

[img]
Предварительный просмотр
Текст
№ 11_egorov_Element_2019.pdf

Загрузить (858kB) | Предварительный просмотр
Официальный URL: https://iopscience.iop.org/journal/1742-6596

Аннотация

The work discusses procedure peculiarities of thin films, surface layers and liquid dry residue elements diagnostics. There are showed that the ion beam analysis embellished by TXRF method is necessary and sufficient for element analysis of material surface layers. Experimental data of thin film surface layers obtained by TXRF, RBS and PIXE methods are presented.

Тип объекта: Доклад на конференции или семинаре (Статья)
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Егоров В.К., Егоров Е.В., Афанасьев М.С.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 251 лаб. исследования физических явлений на поверхности и границах раздела твердых тел
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/7829
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект