Оптимизация процесса осаждения пьезоэлектрических пленок с наклонной ориентацией оси текстуры с помощью метода акустической резонаторной спектроскопии

Алексеев С.Г., Лузанов В.А., Ползикова Н.И. Оптимизация процесса осаждения пьезоэлектрических пленок с наклонной ориентацией оси текстуры с помощью метода акустической резонаторной спектроскопии. In: Труды XXXII сессии Российского акустического общества. ГЕОС, Москва , 2019 , С. 724-728. ISBN 978-5-89118-802-0

Предварительный просмотр

Текст РАО-2 2019.pdf Загрузить (963kB) | Предварительный просмотр

Аннотация

Отработаны технологические параметры для изготовления тонкопленочных преобразователей объемных сдвиговых акустических волн на частоту 2.4 ГГц. Показана эффективность метода составной резонаторной спектроскопии для исследования пространственного распределения свойств пьезоэлектрической пленки. Обнаружено изменение типа пьезопреобразователя (четверть- и полуволновый) при изменении расстояния от подложки до оси магнетрона при нанесении пленки ZnO, что приводит к двукратному увеличению рабочей частоты преобразователя.

Тип объекта:	Раздел книги
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	171 лаб. полупроводниковых приборов 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/7651

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект