СГТУ им. Гагарина Ю.А. МУЛЬТИОКСИДНЫЙ ГАЗОАНАЛИТИЧЕСКИЙ ЧИП И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИМ МЕТОДОМ. RU 2 684 426, 2019.
|
Текст
patent_RU2684426_MultyOxide Gas Sensor Chip_April 2019.pdf Загрузить (1MB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Группа изобретений относится к области газового анализа, а именно к устройствам распознавания состава многокомпонентных газовых смесей и способам их изготовления. Мультиоксидный газоаналитический чип состоит из диэлектрической подложки, на фронтальную сторону которой нанесен набор компланарных полосковых электродов из благородного металла и тонкопленочных терморезисторов, а на обратную сторону - система тонкопленочных меандровых нагревателей, при этом в качестве газочувствительных материалов между полосковыми электродами используют наноструктуры оксидов цинка, марганца, кобальта и никеля, последовательно осажденные электрохимическим методом на различные полосковые электроды мультиэлектродного чипа, которые в совокупности формируют линейку хеморезистивных элементов, функционирующих в диапазоне температур от 200°С до 250°С, у которых изменяется сопротивление под воздействием примесей органических паров в окружающем воздухе. Процесс электрохимического синтеза оксидов цинка, марганца, кобальта и никеля проводят в емкости, заполненной водным электролитом и содержащей противоэлектрод и электрод сравнения.
| Тип объекта: | Патент |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-3 лаб. субмикронной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/7345 |
 |
Изменить объект |
