Ковалев В.И., Руковишников А.И., Ковалев С.В., Ковалев В.В., Россуканый Н.М. Ахроматический четырехзеркальный компенсатор для спектральных эллипсометров. оптика и спектроскоскопия , 2017 , 123 (1). С. 156-159. ISSN 0030-4034
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
Представлены результаты измерений и расчеты, подтверждающие возможность создания ахроматических четырехзеркальных компенсаторов для спектрального диапазона 200–2000 нм, широко используемого современными спектральными эллипсометрами. Измерения и расчеты по стандартным эллипсометрическим программам выполнены на светодиодном широкодиапазонном спектральном эллипсометре с переключением ортогональных состояний поляризации. Зеркала со структурой подложка из стекла/слой Al2O3 толщиной 20–30 нм/слой Al толщиной 150 нм/верхний слой Al2O3 заданной толщины d изготовлены методом термического испарения в вакууме. Выполненные на эллипсометре измерения спектров фазового сдвига четырехзеркального компенсатора, в котором два зеркала имеют собственный оксид толщиной 5.5 нм и два – 36 нм, показали существенное уплощение спектра фазового сдвига по сравнению с аналогичными спектрами компенсатора, в котором все четыре зеркала имеют собственный оксид, особенно в коротковолновой части спектра. Приведены результаты расчета спектров фазового сдвига четырехзеркального компенсатора с шестью варьируемыми параметрами: углами падения излучения на зеркала и толщинами оксида на четырех зеркалах. Для определенных наборов параметров может быть достигнута ахроматизация высокого качества в широком спектральном диапазоне.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 197 лаб. функциональной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6998 |
 |
Изменить объект |
