Синицын Н.И., Торгашов Г.В., Торгашов И.Г., Байбурин В.Б., Буянова З.И., Жбанов А.И. НОВЫЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ МАТЕРИАЛ – ТОНКИЕ УГЛЕРОДНЫЕ НАНОКЛАСТЕРНЫЕ ПЛЕНКИ. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ АСПЕКТЫ. Гетеромагнитная микроэлектроника , 2013 (14). С. 13-24. ISSN 1810-9594
Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)
Официальный URL: https://elibrary.ru/item.asp?id=241476021
Аннотация
В работе рассматривается новый автоэмиссионный материал – тонкие углеродные нанокластерные пленки. Разработана технология выращивания таких пленок. Исследован их состав, подробно изучено влияние основных параметров технологического процесса синтеза на их автоэмиссионные свойства и структуру поверхности, сделаны рекомендации по выбору материала подложки для изготовления автокатодов на основе углеродных нанокластерных пленок.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6979 |
 |
Изменить объект |
