Бенедик А.И., Рожнев А.Г., Рыскин Н.М., Синицын Н.И., Торгашов Г.В., Шалаев П.Д. Разработка планарных замедляющих систем на диэлектрических подложках для приборов вакуумной микроэлектроники миллиметрового и субмиллиметрового диапазона. РАДИОТЕХНИКА , 2016 (7). С. 47-52. ISSN 0033-8486
Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)Аннотация
Представлены результаты исследований, направленных на создание миниатюрных планарных замедляющих систем (ЗС) на диэлектрических подложках для усилителей и генераторов О-типа терагерцевого диапазона частот. Проведены расчеты дисперсионных характеристик и сопротивления связи для ЗС типа металлизированного меандра и типа встречных штырей. Обсуждаются особенности технологических процессов создания ЗС при помощи фотолитографии.
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6903 |
Изменить объект |