Ieshkin A.E., Kireev D.S., Ermakov Yu.A., Trifonov Artem /A.S., Presnov Denis /D.E, Garchev A.V., Anufriev Yu.V., Prokhorova I.G., Krupenin V.A., Chernish V.S. The quantitive analisys of silicon carbide surface smoothing by Ar and Xe claster ions. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B, Beam Interactions with Materials and Amoms , 2018 , 421. С. 27-31. ISSN 0168-9002
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://2018,421, 27-31. DOI: 10.1063/1.5019250
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Иешкин А.Е.,Киреев Д.С.,Ермаков Ю.А.,Трифонов А.С., Преснов Д.Е., Ануфриев Ю.В., Прохорова И.Г., Крупениин В.А., Черныш В.С. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 193 лаб. физических свойств нанокомпозитных материалов для информационных технологий |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6764 |
 |
Изменить объект |
