Starodubov Andrey V., Serdobintsev Alexey A., Pavlov Anton M., Galushka Victor V., Mitin Dmitry M., Ryskin Nikita M. A novel microfabrication technology of planar microstrip slow-wave structures for millimeter-band traveling-wave tubes. In: 19th International Vacuum Electronics Conference (IVEC 2018), 24-26 апреля 2018 г., Monterey, CA, USA , IEEE , С. 333-334.
Полный текст не доступен из этого репозитория. (Заказать копию)Аннотация
A novel technology for microfabrication of millimeter-band planar microstrip slow-wave structures (SWS) is proposed. The technology is based on magnetron sputtering and laser ablation methods. The magnetron sputtering method is used to deposit a thin layer of metal (copper) on a quartz substrate. Then laser ablation is utilized to cut a slow wave structure from the copper layer. V-band (50-70 GHz) meander-line SWSs were fabricated and characterized by scanning electron and optical microscopy. The proposed technology has significant advantages in cost, speed and flexibility over lithography processes commonly utilized for such applications.
| Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Доклад) |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Стародубов А.В., Сердобинцев А.А., Павлов А.М., Галушка А.В., Митин Д.М., Рыскин Н.М. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-1 лаб. микро- и наноэлектроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6536 |
 |
Изменить объект |
