Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв В.В., Ковалев С.В. Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. Оптический журнал , 2016 , 83 (3). С. 55-59. ISSN 1023-5086
Это последняя версия данного объекта.
Аннотация
Приведено описание светодиодного эллипсометра с непрерывным диапазоном длин волн 260-1000 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ кремния c собственным диоксидом на пиковых длинах волн излучения светодиодов не хуже 0,001 и 0,01° соответственно. На длинах волн 365, 375, 390, 405, 420 и 465 нм воспроизводимость измерений Ψ и Δ пленок металлов около 0,0003 и 0,001° соответственно. Спектральное разрешение – 4 нм. Минимальное время измерения Ψ и Δ в полном диапазоне длин волн – 20 с.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв В.В., Ковалёв С.В. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 197 лаб. функциональной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/6371 |
Доступные версии этого объекта
-
Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. (deposited 20 Мар 2017 11:14)
- Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. (deposited 27 Ноя 2018 06:56) [В настоящее время Отображен]
 |
Изменить объект |
