Веденеев А.С., Лузанов В.А. Составная мишень для получения нанокомпозитов при магнетронном распылении. 183138, 2018.
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: http://fireras.su/216/images/Патент.docx
Тип объекта: | Патент |
---|---|
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники 285 лаб. волновой электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5737 |
Изменить объект |