Discharge parameters and plasma characterization in a dc magnetron with liquid Cu target.

Kaziev A.V., Tumarkin A.V., Leonova K.A., Kolodko D.V., Kharkov M.M., Ageychenkov D.G. Discharge parameters and plasma characterization in a dc magnetron with liquid Cu target. Vacuum , 2018 , 153. С. 23-24. ISSN 0042207X

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.07.001
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Колодко Д.В.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/5706
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект