СГТУ им. Гагарина Ю.А. Микропрофиль структуры вакуумной интегральной СВЧ-схемы и способ его получения. 2476951 С1 МПК H01J 19/64, 2013.
Полный текст не доступен из этого репозитория.Тип объекта: | Патент |
---|---|
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | СФ-3 лаб. субмикронной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/5682 |
Изменить объект |