Миниатюрный параллельный микроманипулятор

Кон И.А., Ильин А.С., Коваленко А.Г. Миниатюрный параллельный микроманипулятор. Журнал радиоэлектроники , 2016 (11). ISSN 1684-1719

Предварительный просмотр

Текст text.pdf Загрузить (186kB) | Предварительный просмотр

Аннотация

В современной микро и наноэлектронике нередко возникает необходимость прецизионного позиционирования. В данной работе рассмотрен манипулятор с субмикронным позиционированием, габариты которого допускают размещение в камере растрового электронного микроскопа.

Тип объекта:	Статья
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	194 лаб. низкоразмерных атомных структур 235 темгр. сверхпроводниковых субмиллиметровых микроболометров на разогреве электронов
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/5257

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект