Luzanov V. A., Vedeneev A. S., Ryl’kov V. V., Temiryazeva M. P., Kozlov A. M., Dukhnovskii M. P., Bugaev A. S. Synthesis of thin tantalum films by magnetron sputtering. Journal of Communications Technology and Electronics , 2015 , 60 (12). С. 1325-1327. ISSN 1064-2269
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1134/S1064226915110133
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Лузанов, Веденеев, Рыльков, Темирязева, Козлов, Духновский, Бугаев |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 196 лаб. спин-волновых процессов в миллиметровом и субмиллиметровом диапазонах длин волн 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники 285 лаб. волновой электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/4143 |
 |
Изменить объект |
