Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации

Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв В.В., Ковалев С.В. Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. Оптический журнал , 2016 , 83 (3). С. 55-59. ISSN 1023-5086

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Аннотация

Приведено описание светодиодного эллипсометра с непрерывным диапазоном длин волн 260-1000 нм и высокими техническими характеристиками. Воспроизводимость и стабильность измерений эллипсометрических параметров Ψ и Δ кремния c собственным диоксидом на пиковых длинах волн излучения светодиодов не хуже 0,001 и 0,01° соответственно. На длинах волн 365, 375, 390, 405, 420 и 465 нм воспроизводимость измерений Ψ и Δ пленок металлов около 0,0003 и 0,001° соответственно. Спектральное разрешение – 4 нм. Минимальное время измерения Ψ и Δ в полном диапазоне длин волн – 20 с.

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	Ковалёв В.И., Руковишников А.И., Ковалёв В.В., Ковалёв С.В.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	197 лаб. функциональной электроники
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/2490

Доступные версии этого объекта

• Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. (deposited 20 Мар 2017 11:14) [В настоящее время Отображен]
  • Светодиодный широкодиапазонный спектральный эллипсометр с переключением ортогональных состояний поляризации. (deposited 27 Ноя 2018 06:56)

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект