Алексеев С.Г., Котелянский И.М., Ползикова Н.И., Мансфельд Г.Д. Исследование слоистых структур модифицированным методом акустической резонаторной спектроскопии. РАДИОТЕХНИКА И ЭЛЕКТРОНИКА , 2015 , 60 (3). С. 317-325. ISSN 0033-8494
|
Текст
43236062(РЭ).pdf Загрузить (326kB) | Предварительный просмотр |
Аннотация
Разработан комплекс программ, позволяющий записывать сканы СВЧ спектра составного много�модового акустического резонатора (HBAR) с произвольным шагом по частоте во всем диапазоне измерителя S-�параметров. Благодаря высокой степени автоматизации обработки сканов могут быть получены параметры (частота и ширина) каждого из нескольких тысяч резонансных пиков. Пред�лагаемый метод увеличивает точность ранее известного метода измерения скорости акустической волны в материале. Для слоев толщиной в несколько длин волн новый метод позволяет получать данные о скорости волны в исследуемом материале из одного снятого спектра и не требует сравнения спектров HBAR до и после нанесения исследуемого слоя.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 171 лаб. полупроводниковых приборов 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/1938 |
 |
Изменить объект |
