Песков В.В., Клыков И.Л, Латышев Ю.И, Шустин Е.Г Способ получения атомно-тонких монокристаллических пленок. In: Патент РФ №2 511 073, 10.04.2014 Бюл. № 10
Полный текст не доступен из этого репозитория.Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Другой) |
---|---|
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 168 лаб. разработки технологии СВЧ приборов |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/1133 |
Изменить объект |