Shustin E. G. Beam plasma discharge in technologies of materials for nanoelectronics. Journal of Physics: Conference Series , 2019 , 1393 (1).
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
The technologies developed at VA Kotelnikov Institute of Radio Engineering and Electronics of RAS for specific application in nanoelectronics that are not used in industry are reviewed. Physical problems that were been solved at their development are analyzed, and found solutions are represented. Tested applications are briefly described.
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Шустин Е.Г. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9491 |
 |
Изменить объект |
