Тараканов В.П., Шустин Е.Г. Компьютерное моделирование плазмы плазмохимических реакторов с плазмой, генерируемой электронным пучком. In: %Международная конф. Лазерные и плазменные исследования и технологии, 12-15 февраля 2019 г., Москва , р. 30.
Полный текст не доступен из этого репозитория.Аннотация
В данном докладе дан обзор работ, в которых методом компьютерного моделирования исследованы особенности пристеночной плазмы и процессов в ней при взаимодействии плазмы со структурами типа «проводник на диэлектрике». Данная постановка задачи иницирована опытами по формированию методом плазменного травления таких структур, как нанополоски (nanoribbons) графена, топологических изоляторов и т.п. В этих опытах плазма создавалась либо электронным пучком малой плотности (EBEP - установка LAPPS), либо пучково-плазменным разрядом. Моделирование проводилось с помощью кода КАРАТ.
| Тип объекта: | Доклад на конференции или семинаре (Доклад) |
|---|---|
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9206 |
 |
Изменить объект |
