Electrical conductivity of silicon carbide-diamond composite films produced by microwave plasma chemical vapor deposition in methane-silane-hydrogen mixtures

Martyanov A.K., Sedov, V.S., Popovich A.F., Savin, S.S., Khomich A.A., Ralchenko, V.G., Konov V.I. Electrical conductivity of silicon carbide-diamond composite films produced by microwave plasma chemical vapor deposition in methane-silane-hydrogen mixtures. ПРИКЛАДНАЯ ФИЗИКА , 2020 (5). С. 73-79. ISSN 1996-0948

Полный текст не доступен из этого репозитория.

Тип объекта:	Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!:	Попович А.Ф.,Хомич А.А.
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl):	218 лаб. химических методов технологии и анализа
URI:	http://cplire.ru:8080/id/eprint/9204

Только для зарегистрированных пользователей

Изменить объект