Kaziev Andrey V, Kolodko Dobrynya V, Sergeev Nikita S Properties of millisecond-scale modulated pulsed power magnetron discharge applied for reactive sputtering of zirconia. Plasma Sources Science and Technology , 2021 , 30 (5). 055002. ISSN 0963-0252
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1088/1361-6595/abf369
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Казиев, Колодко, Сергеев Н.С. |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9178 |
 |
Изменить объект |
