Kaziev Andrey V., Kolodko Dobrynya V., Tumarkin Alexander V., Kharkov Maksim M., Lisenkov Vladislav Yu., Sergeev Nikita S. Comparison of thermal properties of a hot target magnetron operated in DC and long HIPIMS modes. Surface and Coatings Technology , 2021 , 409. р. 126889. ISSN 02578972
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2021.126889
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Казиев, Колодко, Тумаркин, Харков, Лисенков В.Ю., Сергеев Н.С. |
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9175 |
Изменить объект |