Cu Metallization of Al2O3 Ceramic by Coating Deposition from Cooled- and Hot-Target Magnetrons

Kaziev Andrey V., Kolodko Dobrynya V., Lisenkov Vladislav Yu., Tumarkin Alexander V., Kharkov Maksim M., Samotaev Nikolay N., Oblov Konstantin Yu. Cu Metallization of Al2O3 Ceramic by Coating Deposition from Cooled- and Hot-Target Magnetrons. Coatings , 2023 , 13 (2). р. 238. ISSN 2079-6412

Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.3390/coatings13020238
Тип объекта: Статья
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: Казиев, Колодко, Лисенков В.Ю., Тумаркин, Харков, Самотаев, Облов
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники
URI: http://cplire.ru:8080/id/eprint/9171
Только для зарегистрированных пользователей
Изменить объект Изменить объект