Kolodko Dobrynya V, Ageychenkov Dmitry G, Lisenkov Vladislav Yu, Kaziev Andrey V Evidence of 1000 eV positive oxygen ion flux generated in reactive HiPIMS plasma. Plasma Sources Science and Technology , 2023 , 32 (6). 06LT01. ISSN 0963-0252
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1088/1361-6595/acda5b
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Колодко, Агейченков, Лисенков, Казиев |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/9170 |
 |
Изменить объект |
