Sorokin I.A., Kolodko D.V. On the possibility of indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy-dispersive analysis. Thin Solid Films , 2021 , 737. р. 138937. ISSN 00406090
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138937
| Тип объекта: | Статья |
|---|---|
| Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Сорокин, Колодко |
| Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
| URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/8862 |
![]() |
Изменить объект |
