Sorokin I.A., Kolodko D.V. On the possibility of indirect measurement of the thin carbon films thickness using energy-dispersive analysis. Thin Solid Films , 2021 , 737. р. 138937. ISSN 00406090
Полный текст не доступен из этого репозитория.
Официальный URL: https://doi.org/10.1016/j.tsf.2021.138937
Тип объекта: | Статья |
---|---|
Авторы на русском. ОБЯЗАТЕЛЬНО ДЛЯ АНГЛОЯЗЫЧНЫХ ПУБЛИКАЦИЙ!: | Сорокин, Колодко |
Подразделения (можно выбрать несколько, удерживая Ctrl): | 216 лаб. технологических процессов твердотельной электроники |
URI: | http://cplire.ru:8080/id/eprint/8862 |
Изменить объект |